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GFS™ 提供了一種真正的主質(zhì)量流量標準，并使得低氣體質(zhì)量流速的基本測量真正可行。

·         覆蓋從 0.2 到 200 mg/s 的多種氣體量程（10 sccm 到 10 slm N2）

·         支持的氣體：無毒性的非腐蝕氣體

·         流量測量不確定度低至 ±0.013% 讀數(shù)

·         最大出口壓力：650 kPa 絕壓

·         使用質(zhì)量和時間測量的主要重量原則

·         可以實現(xiàn)自動化的無人管理操作

·         GFS 動態(tài)重力質(zhì)量流量校準系統(tǒng)包括所需的電子質(zhì)量天平、封殼和電子儀器，以準確實時測量損耗的
氣體質(zhì)量和整個過程的持續(xù)時間。為了提高熱穩(wěn)定性并抑制振動，請將天平放在一個大的花崗巖表面并使用通風的封殼將其包圍。在該系統(tǒng)中，通過增壓套筒提供測試氣體，增壓套筒置于天平上，，系統(tǒng)會不斷地測量其質(zhì)量，以確定測試過程中損耗氣體的質(zhì)量和速度。通過連接到系統(tǒng)控制器的高速 USB 計數(shù)器/定時器來測量執(zhí)行此測試所用的時間。該系統(tǒng)可以使用各種非腐蝕性氣體種類，只需抽離參考套筒中的氣體并對所選介質(zhì)進行加壓。

·         已經(jīng)開發(fā)了專用的基于 PC 的軟件程序 (GFSTools™)，用作儀器的中央控制以及用戶界面。系統(tǒng)會記錄測試輸出下天平和設備的離散值和平均值，然后計算結(jié)果并將其顯示為總質(zhì)量和質(zhì)量流量等項。對環(huán)境壓力、溫度和濕度以及平衡偏移的補充測量均由 GFSTools 執(zhí)行。自動測試設置、數(shù)據(jù)報告和流量控制也由該程序進行處理。

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