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基準(zhǔn)級微壓活塞壓力計，提供微壓溯源性
優(yōu)異的測量不確定度 支持表壓、絕壓和絕差壓測量 FPG8601支持三種不同的測量模式： · 表壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”側(cè)連接在一起，壓力計的精度是多少，并和環(huán)境大氣壓相同。 · 絕壓模式：FPG8601的下方壓力室被抽成真空，并用真空計測量殘留真空。這種模式用于校準(zhǔn)密封絕壓的DUT。 · 絕差壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”測連接在一起并抽成真空。這種模式用于校準(zhǔn)相對于真空的差壓被檢對象。 此外，壓力計，FPG8601沒有特殊環(huán)境要求，可安裝在2m長的高質(zhì)量實(shí)驗(yàn)臺上。壓力控制器常常安裝在試驗(yàn)臺下方。當(dāng)需要使用絕壓功能時，需要考慮真空泵的位置。如果需要，可以隨系統(tǒng)提供定制的安裝臺。其工作環(huán)境要求為典型的高端計量實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
工作原理 為了避免通過在汽缸中旋轉(zhuǎn)活塞來確定其中心的不穩(wěn)定性和機(jī)械方面的復(fù)雜性，F(xiàn)PG8601活塞是通過缸體-活塞縫隙中獨(dú)立流通的潤滑氣壓來確定中心的。縫隙呈圓錐形，收縮面對稱朝向活塞末端。缸體－活塞縫隙為1～6 mm，動槽式大氣壓力計，潤滑壓力比參考壓力大40 kPa，保證流入到測量室的氣流非常�。ǖ陀诳偭康�1 sccm）�；钊麅啥说膲毫νㄟ^一個萬向節(jié)連接系統(tǒng)傳遞到壓力傳感器，該系統(tǒng)將活塞保持在其重心。連接系統(tǒng)的通路也用來提供缸體－活塞潤滑氣。壓力傳感器被封閉在一個密封室內(nèi)，潤滑氣通過該密封室流通。壓力傳感器密封室的設(shè)計有利于保持恒溫，并且潤滑氣的相對濕度被保持在40～70 %之間，從而使壓力傳感器的性能達(dá)到最佳。
優(yōu)異的測量不確定度
全自動的力平衡控制 控制器中有幾個具有不同導(dǎo)電系數(shù)的節(jié)流閥，并自動選擇與相應(yīng)的壓力量程相匹配的一個。有2個質(zhì)量流量控制器（MFC），其中1個用于壓力粗調(diào)，另1個用于壓力精調(diào)，MFC并聯(lián)用于調(diào)整反饋環(huán)路中的流量。根據(jù)壓力設(shè)置點(diǎn)和 FPG8601壓力測量值之差進(jìn)行控制。有一個兩級的壓力調(diào)節(jié)器，其第二級以節(jié)流閥的下游側(cè)為參考，它為質(zhì)量流量控制器提供了一個穩(wěn)定的輸入壓力。FPG8601 包括一個基于Windows的系統(tǒng)控制器。系統(tǒng)控制器與FPG8601硬件及被測設(shè)備進(jìn)行通信。FPG Tools軟件監(jiān)測和控制FPG8601的工作，并支持多種高級功能，平均有效壓力計算，包括全自動工作、無值守測試程序并采集被測設(shè)備數(shù)據(jù)。所有的FPG8601和被測設(shè)備的數(shù)據(jù)均被記錄為逗號分隔的數(shù)據(jù)文件，可方便地下載至其它應(yīng)用程序進(jìn)行分析。 以下為FPG Tools軟件的部分功能： · 改變測量模式（表壓/絕壓） · 壓力傳感器自動調(diào)零，微型土壓力計，并自動設(shè)置跨距 · 調(diào)整數(shù)據(jù)點(diǎn)平均時間 · 工作狀態(tài)發(fā)生過大變化時自動報警 · 在低絕壓模式下進(jìn)行熱蒸發(fā)修正 · 被測設(shè)備設(shè)置 · 測試程序定義和儲存 · 全自動測試 · 實(shí)時繪制測試結(jié)果
通用配件:
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